電感耦合等離子體質(zhì)譜儀是一種廣泛應用于地球科學(xué)、環(huán)境科學(xué)、生命科學(xué)和材料科學(xué)等領(lǐng)域的分析儀器。它結合了電感耦合等離子體源（ICP）和高靈敏度的質(zhì)譜檢測器，能夠同時(shí)測定多種元素的含量和同位素組成。具有許多優(yōu)點(diǎn)，如高的檢測限、高的選擇性、準確性和可靠性。此外，它還可以同時(shí)測定多個(gè)元素和同位素，其檢測范圍從質(zhì)量數1到300不等。因此，已成為許多應用領(lǐng)域關(guān)鍵的分析工具，例如研究地球元素分布、環(huán)境污染、生命科學(xué)和材料科學(xué)等。
工作原理是將待測樣品轉化為氣態(tài)離子，然后經(jīng)過(guò)選擇性分離和檢測。首先，樣品通過(guò)噴霧裝置進(jìn)入ICP源，其中包含高溫和穩定的等離子體，使樣品中的原子被激發(fā)和電離。接著(zhù)，離子在通過(guò)四極桿或磁場(chǎng)篩選器進(jìn)行分離和聚焦，最終到達質(zhì)譜檢測器進(jìn)行檢測。
1、電感耦合等離子體源：這是ICP-MS的核心部件，用于產(chǎn)生高溫等離子體。在這個(gè)等離子體中，樣品中的原子和分子被離子化，以便后續的分析。
2、質(zhì)譜儀：ICP-MS中常用的質(zhì)譜儀是四級桿質(zhì)譜儀。在質(zhì)譜儀中，離子根據其質(zhì)荷比（m/z）比例被分離和檢測，從而確定其種類(lèi)和濃度。
3、接口：接口連接ICP源和質(zhì)譜儀，將離子從等離子體傳輸到質(zhì)譜儀中進(jìn)行分析。
4、離子透鏡：用于聚焦和傳輸離子束，以確保離子能夠進(jìn)入質(zhì)譜儀中進(jìn)行分析。
5、檢測器：用于檢測和記錄質(zhì)譜儀中分離出的離子，生成質(zhì)譜圖譜。
6、數據系統：用于控制儀器操作、數據采集和分析，以及結果的展示和存儲。
以上是ICP-MS的基本結構組成部分，每個(gè)部分在儀器的正常運行中起著(zhù)關(guān)鍵作用，確保儀器的準確性和穩定性。
